橡膠空氣彈簧隔振設計及性能分析

　　壓印光刻機是一種精密儀器（qì）,外界環境激勵對壓印（yìn）光刻機的影響很大。橡膠空（kōng）氣彈簧是一種氣囊（náng）減振器,用橡膠空氣彈簧隔離外界環境對壓印光刻機（jī）的幹擾,能保護壓印光刻機免受低（dī）頻激勵力的激勵,文中闡述壓（yā）印光刻機低頻橡（xiàng）膠空氣彈簧單自由度隔振係統（tǒng）的隔振原理,確定橡（xiàng）膠空（kōng）氣彈簧的剛度及隔振係統（tǒng）的固有頻率,隔振（zhèn）係統的固有頻率及隔振效率的理論結果與實際隔振係統的試驗結果相吻合（hé）,表（biǎo）明（míng）壓印光刻機的低頻隔振設計（jì）是合理可行（háng）的。