半導體精密微光刻（kè）機減震器液壓缸推力（lì）不足是（shì）什

半導體精密微光刻機減震器液壓缸推力不足是什麽原因？

漏油原因：液壓缸與活塞杆中間因損壞而間隙太（tài）大。假如（rú）活塞杆配有密封圈，會因為密封圈（quān）損壞或衰老而喪失（shī）封口作用。

對策：拆換活塞杆或密封圈，保持間隙。

假如隻經常應用氣缸某一位置，部（bù）分損壞比較嚴重，間隙擴大，氣缸泄露。這（zhè）時，可以再次研磨缸孔並重新部署活塞杆。

氣缸內（nèi）部構（gòu）造不一樣，姿勢摩擦阻力太大，使氣缸速度隨日程安排位置而轉變。

大蘭液壓油缸

發生這種情況的原因：聽說是（shì）組裝品質不行導致的。（液壓缸密封性（xìng）過緊，液壓缸過長（zhǎng），造成滾動位置工作壓力太（tài）大）或廢棄物進入氣缸滾動（dòng）位置（特別是顆粒廢棄物（wù））。

假如調（diào）速閥進入髒物，閥心處於開與關狀況減震器液（yè）壓缸壓（yā）差，液壓油全自動流進機油箱，液壓油缸內並沒有液壓油注入。假如負載太大，雖然調速（sù）閥的調整工作壓（yā）力已實現（xiàn）較大額定值，但液壓缸仍不可以獲得不斷姿勢所需的力，液（yè）壓缸不動。假（jiǎ）如調節工作壓力低，沒法做到負載所需的驅動力，則為工作壓力不夠，驅動力不夠。這（zhè）類問題都產生在閘（zhá）閥上減（jiǎn）震器液壓缸壓差，因此（cǐ）應當檢查閘閥。

半導體精密微光刻機減震器液壓缸推（tuī）力不（bú）足是什麽原因？

1.氣缸裏有大氣或油泵提（tí）供的油（yóu）不夠，會讓氣缸姿勢不穩定（或慢）。

排除主缸氣體或檢查油泵。

2.也有一種情況是壓力表（biǎo）上表明的氣缸壓力充足了（le），但是氣缸或是推不動。

發生這種情況的原因：一般是減震器活塞杆（gǎn）側麵與缸蓋觸（chù）碰（pèng）緊密，工作壓力油（yóu）不（bú）能加（jiā）入或合理工作上總麵積（jī）太小，沒法產生充足的驅動（dòng）力使氣缸運動。